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    室温真空探针台PSV系列

    室温真空探针台PSV系列

    PSV系列室温真空探针台，可对样品进行稳定的非破坏性表征。PSV系列室温真空探针台可选配高温样品座，升级成高温真空探针台。高温测试时，顺利获得温控仪的PID闭环回路实现精确控温，温度范围：室温-800K（500K可选）；顺利获得外接不同的电学测量仪器，可在室温真空和高温真空环境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等参数的电学测试。PSV系列真空探针台是的一款性能非常优秀的可变温探针台，它可以帮助科研人员深入探究材料或器件的各项物理与电学性能，为新材料的研发和应用给予关键的数据保证。

    室温真空探针台PSV系列产品概述

    PSV系列室温真空探针台，可对样品进行稳定的非破坏性表征。PSV系列室温真空探针台可选配高温样品座，升级成高温真空探针台。高温测试时，顺利获得温控仪的PID闭环回路实现精确控温，温度范围：室温-800K（500K可选）；顺利获得外接不同的电学测量仪器，可在室温真空和高温真空环境下完成材料、器件的IV、CV、光以及微波等参数的电学测试。PSV系列真空探针台是的一款性能非常优秀的可变温探针台，它可以帮助科研人员深入探究材料或器件的各项物理与电学性能，为新材料的研发和应用给予关键的数据保证。


    特点
    • 真空腔极限真空度能够达到~10-4Torr。
    • 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰提高测试的精准度和稳定性。

    • 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。

    • 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足最大2英寸样品的测试。

    • 标配四个直流探臂，最多可安装六个探针臂，可以选配：微波探针臂、光纤探针臂、热电偶探针臂。

    • 直流探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA@1V@300K-800K。

    • 温度范围可扩展，安装高温选件后，最大支持300K-800K陆续在变温。


    室温真空探针台PSV系列技术参数

    型号分类：

    型号样品座尺寸
    PSV-22英寸


    参数和指标： 

    样品座
    样品座类型及材质：
    		无氧铜接地样品座
    尺寸：
    		2/4英寸
    可选配置：
    		接地样品座、绝缘样品座、同轴样品座、三同轴样品座
    探针臂组件
    类型：
    		直流探针臂
    数量：
    		4个
    接头和线缆：
    		三同轴接头
    漏电流：
    		100fA@1V真空环境
    信号频率：
    		直流~50MHz 研讨
    匹配阻抗：
    		50 Ω
    探针针尖直径：
    		100μm铍铜探针
    位移行程：
    		X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10°
    读数精度：
    		10μm
    光学系统
    显微镜放大倍数：
    		10~180 倍
    分辨率：
    		3μm
    视野范围：
    		可到 22mm
    显微镜工作距离：
    		90~100mm
    显微镜支架升级行程：
    		65mm
    真空腔体
    材料：
    		铝合金
    腔体容积：
    		4/6L
    外形尺寸：
    		800*800*600
    腔体入口尺寸：
    		Ø124mm
    可视窗口尺寸：
    		50mm
    真空度：
    		5E-4 torr
    真空抽口：
    		KF25法兰
    真空腔体窗片：
    		红外绝热材质
    防辐射屏窗片：
    		石英材质
    充气阀接口：
    		Ø8 快拆接头
    预留接口：
    		2个探针臂接口，2个电学接口
    减振支架（选件）
    尺寸（mm）：800×800×870；桌脚：有固定脚和滚轮可调换